低/中頻
Photo of Crystal high power system
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Crystal®

Advanced Energy (AE) 的 Crystal® 電源非常適用於大面積玻璃鍍膜應用,如建築、汽車、抗反射和鏡子,良率高,缺陷少。這些電源的可用功率為 180kW,為雙磁控濺射應用提供了寬波段、低頻率的正弦製程電源。AE 的 Crystal 電源是唯一特別為電漿環境而設計拓撲結構的交流電大功率電源


優點 特性
  • 更靈活 
  • 良率提高 
  • 減少製程停機時間 
  • 生產量提高
  • 寬波段低頻率正弦製程電源 
  • 大功率電源——180kW 功率級數 
  • 為電漿環境而設計 


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