Source技術

 

Advanced Energy 的加速離子束源、電感耦合電漿源和大氣中的Source技術為您的進階製程提供了成熟而現代化的設計。其無縫整合、卓越的可靠性和進階功能性,推動、簡化您的製程,使之更上一層樓。

遠端電漿源 (RPS)
遠端提供活性離子的高密度電漿整合電源/電漿源
前端管道PFC清除(Litmas)
前端管道清除解決方案
遠端電漿源 (Xstream)
遠距電漿源整合解決方案
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