SEKIDENKO 溫度量測系統
Advanced Energy® Sekidenko OR400T 光纖溫度計
  |  Contact Advanced Energy |  Email this to a friend |  Print this page |  

Sekidenko OR400T 光纖溫度計

Advanced Energy 的 OR400T 光纖溫度計 (OFT) 拓展了 OFT 產品系列的靈活性,向多種高用量的半導體應用提供了具有成本競爭力非接觸性的解決方案,其中包括電漿輔助化學氣相沈積(PECVD)、低壓化學氣相沉積(LPCVD)、物理氣相沉積(PVD) 和金屬刻蝕。由於 OR400T 具有緊湊型設計,因此能夠輕鬆整合以滿足多種製程應用的特殊要求。


優點 特性
  • 提高溫度測量精度
  • 提高晶圓均勻度
  • 提供具有成本競爭力,可替代熱電偶溫度測量的方案
  • 提高生產力、良品率和輸送量
  • 緊湊、單通道設計
  • 在原位、非接觸性溫度測量
  • 支援 RS-232 和類比資料介面,每秒最多達20個溫度讀數
  • 更佳的低溫性能


 文獻下載

更多資訊