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SEKIDENKO 溫度量測系統
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Sekidenko OR4000T & OR4000E 光纖溫度計&發射率計
Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多頻道光纖溫度計 (OFT) 為 RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV 固化以及其它半導體製程提供了業界領先的非接觸性溫度測量性能。OR4000T 型號向要求最苛刻的半導體應用支援高達 2kHz 的讀取率提供了多頻道的功能。OR4000E 型號提供了與 OR4000T 一樣的高速性能,還增添了即時發射率補償功能。兩個型號均設計為模組,能夠快速調整以滿足各個製程應用的特殊要求。
優點
特性
提高溫度測量精度
增強可重複性,將變化減至最少
提高生產力、良品率和輸送量
提高多種封閉空間和基片材料的穩定性及可靠性
在原位、非接觸性溫度測量
即時發射率測量和補償
行業領先的溫度和發射率讀取率
高度靈活、基於模組的平臺架構
完整的輸入輸出和外部觸發/同步套件
文獻下載
Sekidenko OR 4000T and OR4000E Optical Fiber Thermometers and Emissometers data sheet
Infrared Thermometry (2006) white paper
Traditional Chinese version of AE Celebrates Its 25-Year Anniversary With New Product Launches, October 2006 magazine reprint
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