SEKIDENKO 溫度量測系統
Sekidenko OR 4000T 和 OR4000E 光纖溫度計和發射率計圖片
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Sekidenko OR4000T & OR4000E 光纖溫度計&發射率計

Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多頻道光纖溫度計 (OFT) 為 RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV 固化以及其它半導體製程提供了業界領先的非接觸性溫度測量性能。OR4000T 型號向要求最苛刻的半導體應用支援高達 2kHz 的讀取率提供了多頻道的功能。OR4000E 型號提供了與 OR4000T 一樣的高速性能,還增添了即時發射率補償功能。兩個型號均設計為模組,能夠快速調整以滿足各個製程應用的特殊要求。


優點 特性
  • 提高溫度測量精度
  • 增強可重複性,將變化減至最少
  • 提高生產力、良品率和輸送量
  • 提高多種封閉空間和基片材料的穩定性及可靠性
  • 在原位、非接觸性溫度測量
  • 即時發射率測量和補償
  • 行業領先的溫度和發射率讀取率
  • 高度靈活、基於模組的平臺架構
  • 完整的輸入輸出和外部觸發/同步套件


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