RF量測系統 
Photo of GenCal RF instrumentation
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GenCal

GenCal™ 系統提供在電漿製程行業常用的離散頻率下業界領先的測量準確性,以及與 AE 獲得研發大獎的電漿阻抗感測器所使用的相同的尖端混合動力感測器技術。這項經過優化的技術在有高諧波含量和雜訊電漿產生信號的情況下,能夠以目前其他功率測量儀器所無法實現的準確率進行測量。

優點 特性
  • 快速檢查電源和匹配器運行是否正常 
  • 對電源的功率波動進行警告
  • 設定輸出功率點
  • 數字儀錶和參數燈號顯示
  • 可切換功率模式顯示
  • 設置點旋鈕 


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