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RF 電源基礎知識課程

Advanced Energy 業界領先的“RF 電源基礎知識”課程旨在確保您能實現先進製程中的 RF 供電最佳化。新員工和專家將同樣從深入指導和 RF/電漿實驗室中獲益。該課程將加深對用於為以電漿為基礎的製造設備提供電力的 RF 技術和 RF 傳輸方法的理解,學員們將獲得 RF 輸入生成、操作和測量電漿的動手經驗。RF 阻抗匹配在電源穩定性方面的關鍵作用將被強調。

優點 特性
  • 降低工具持有成本
  • 優化工具生產力
  • 提高故障排除和診斷技能
  • 通過優化改善良品率
  • RF 技術和傳輸方法的基本知識 
  • 熟悉設備與製程之間的基本關係 
  • 瞭解和使用針對製程和製程工具表徵的簡單測量方法 
  • 解決典型問題的能力以及熟悉常見故障解決方法 
  • 製程設備的實作知識


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