AE 的陽極備份濺射 (RAS) 電感分流器消除了單目標反應濺射製程的陽極消失的問題，從而能夠使此類系統接近直流濺射率。RAS 感應器新穎的設計中包括了兩個陽極和一個陰極，從而便於對現有的系統進行改進。