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壓力式MFC
Aera® FC-P2000 pressure-based MFCs: precise control of low gas flow, highly effective in safe delivery system (SDS) applications.
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Aera® FC-P2000 系列 MFC

FC-P2000 集壓式 MFC 能夠在廣泛的輸入壓力範圍內,準確控制較低的氣體流量。這使其在安全供給系統 (SDS) 應用中非常有效。在這類應用中,氣體來源壓力會隨著氣體的消耗而緩慢下降。
FC-P2000 MFC 能夠控制2-4 sccm(N2 當量)、低至5 Torr 氣缸壓力的氣體流量,從而能提供高達95%的氣缸氣體使用率。
優點 特性
  • 精確度高
  • 具有成本效益
  • 易於替換現有的 SDS MFC
  • 減少堵塞
  • 音速噴嘴技術

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