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壓力式MFC
Aera® FC-P2000 pressure-based MFCs: precise control of low gas flow, highly effective in safe delivery system (SDS) applications.
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Aera® FC-P2000 系列 MFC

FC-P2000 集壓式 MFC 能夠在廣泛的輸入壓力範圍內，準確控制較低的氣體流量。這使其在安全供給系統 (SDS) 應用中非常有效。在這類應用中，氣體來源壓力會隨著氣體的消耗而緩慢下降。
FC-P2000 MFC 能夠控制2-4 sccm（N2 當量）、低至5 Torr 氣缸壓力的氣體流量，從而能提供高達95%的氣缸氣體使用率。
優點 特性
  • 精確度高
  • 具有成本效益
  • 易於替換現有的 SDS MFC
  • 減少堵塞
  • 音速噴嘴技術

文獻下載

Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
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