電源系統
Advanced Energy 是電源產品的全球領先供應商,這些產品用在半導體、平板顯示器、資料儲存產品、太陽能電池、建築玻璃和其他先進產品應用等製程中。我們的產品提供:
  • 無與倫比的功率電漿控制
  • 無可比擬的 DC 和 RF 電弧處理
  • 尖端匹配技術
  • 領先、整合和經證實的功率傳送解決方案
我們為下列流程設計了電源系統功能
  • RF 清潔 
  • 金屬和介電材料蝕刻
  • 感光耐蝕膜拋光
  • 化學汽相沈積 (CVD)
  • 電漿增強化學汽相沈積 (PECVD)
  • 物理汽相沈積 (PVD)
  • 濺射沈積
此外,我們提供 DC 濺射(合金和金屬材料)、AC 雙陰極濺射和 PECVD,以及用於離子束沈積、反應離子束蝕刻 (RIBE) 和尖端電漿量測應用設備。
電源選擇矩陣

Power supply selection matrix