直流電源
Photo of Pinnacle Diamond DC power system
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Pinnacle® Diamond

在製程和偏壓應用中,Pinnacle® Diamond 直流電源都能提供最高的效率和功率因數,從而帶來業界最低的運行和安裝成本。 Pinnacle 絕佳的製程一致性和控制帶來的額外益處是通過一個極其緊湊的部件大大減少了變化、提高了輸出量。


優點 特性
  • 經過證明的 Pinnacle 性能和可靠性 
  • 最大的製程效率——最低的運行和安裝成本 
  • 通用性——在製程和偏壓應用上均表現出色
  • 眾多顯示/控制選項 
  • 精確的製程控制
  • 符合安全/輻射標準
  • 業界最高的效率和功率因數
  • 緊密——在一個 3-U、1/2支架封裝中,功率高達 15kW
  • 範圍廣泛的單輸出 
  • Profibus 和 RS-232 串列通信 
  • 靶材處理時間——最大限度地縮短新靶材的處理時間 
  • 水冷式 
  • 輸入電源僅400 VAC
  • 儲存能量低——每千瓦輸出能量低於6 mJ 
  • 在大於15%的功率下,輸出重複性為±0.1% 
  • Joule 模式——最優化的能量傳送 
  • 對輸出準位、點燃電壓和製程電壓的可編程限制 
  • 非易變性的存儲設定 
  •  CE 標誌


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