RF POWER SYSTEMS
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Paramount® 射頻功率輸送系統

這款半機架、3kW 的 Paramount® 射頻 (RF) 功率輸送系統擁有一個更強的功率和阻抗測量系統,能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率、50歐姆和非50歐姆負載下(電壓駐波比 (VSWR) 超過3:1),為您帶來傑出的輸送功率精度和控制性能。能夠與最突然變化的電漿阻抗保持即時同步,Paramount 射頻功率輸送系統能為新一代技術節點帶來更快的轉換速度、更少的製程步驟以及更短的製程時間。其阻抗測量精度可媲美網路分析儀,而可選頻率的調諧幾乎可以瞬間實現(達到毫秒數量級),速度較市場上的任何其他產品都快。從而實現真正卓越的精確性、可重複性和製程的控制。


優點 特性
  • 憑藉卓越的功率輸送精度,實現前所未有的薄膜均勻度與傳送效能(throughput)最優化
  • 以更快的製程轉換來支援新一代蝕刻與沉積製程
  • 幫助實現無縫的製程轉換
  • 提高產量
  • 實現投資回報最大化
  • 新一代測量系統能夠在所有輸出範圍內(50歐姆和非50歐姆負載)對功率和阻抗進行極精確的測量
  • 近乎瞬間的頻率調諧(可選)
  • 可選脈衝和同步脈衝的脈衝頻率範圍很寬廣
  • 可選的 HALO(高精確度、低輸出)及弧管理系統
  • 緊湊半機架型外觀設計

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