Paramount® 射頻功率輸送系統
這款半機架、3kW 的 Paramount® 射頻 (RF) 功率輸送系統擁有一個更強的功率和阻抗測量系統，能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率、50歐姆和非50歐姆負載下（電壓駐波比 (VSWR) 超過3:1），為您帶來傑出的輸送功率精度和控制性能。能夠與最突然變化的電漿阻抗保持即時同步，Paramount 射頻功率輸送系統能為新一代技術節點帶來更快的轉換速度、更少的製程步驟以及更短的製程時間。其阻抗測量精度可媲美網路分析儀，而可選頻率的調諧幾乎可以瞬間實現（達到毫秒數量級），速度較市場上的任何其他產品都快。從而實現真正卓越的精確性、可重複性和製程的控制。
| 優點 |
特性 |
- 憑藉卓越的功率輸送精度，實現前所未有的薄膜均勻度與傳送效能(throughput)最優化
- 以更快的製程轉換來支援新一代蝕刻與沉積製程
- 幫助實現無縫的製程轉換
- 提高產量
- 實現投資回報最大化
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- 新一代測量系統能夠在所有輸出範圍內（50歐姆和非50歐姆負載）對功率和阻抗進行極精確的測量
- 近乎瞬間的頻率調諧（可選）
- 可選脈衝和同步脈衝的脈衝頻率範圍很寬廣
- 可選的 HALO（高精確度、低輸出）及弧管理系統
- 緊湊半機架型外觀設計
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