低頻/中頻電源
Photo of PEII Series low/mid-frequency power system
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PEII 低頻系列

PEII 低頻系列提供40 kHz 脈衝寬度調製電源，具有增強的電弧控制以及與高達60 kW 的輸出相匹配的內部負荷，無變壓器等外部組合硬體。
優點 功能
  • 提供功率、電壓及電流模式
  • 提供彈性安裝及模組設計
  • 增強電弧控制
  • 製程安全監控自動化
  • 寬廣的阻抗匹配範圍
  • 功率密度高
  •  5 kW 和 10 kW 選項（主/從 至多達到 60 kW）
  • 內部負載匹配（10:1 阻抗範圍）
  • 兩種不同的弧處理電路
  • 高效率、緊湊型水冷式設計
  • 多種可選配件
  • 符合 CE 標準

文獻下載

PEII Low-Frequency Power Supplies: 5 kW to 60 kW brochure
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Power Systems for Reactive Sputtering of Insulating Films (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Optical Emission Studies for the Characterization of Pulsed Magnetron Sputtering Systems, April 2002 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
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