Ovation™ 全整合供電系統通過採用一種獨特的供電方案，能夠實現更快、更精確的製程過程，如要求嚴格的窄線寬、介電質蝕刻製程。該系統首次在無需外部感測器的情況下，為非 50-ohm 環境供電，反應比傳統電源更快。60-MHz 的設計減小了整個電漿鞘層的電壓勢能，最大限度地減小了離子蝕刻損傷，從而提高了薄膜品質和良品率。

優點	特性
拓寬了製程窗口  拓展了製程能力 改善了電漿特性  提高了蝕刻率、選擇性和均勻性  降低了持有成本	2760 W、60 MHz（關於更大功率要求，請聯繫工廠）  掃描頻率  非50 歐姆 測量能力  類比、RS-232 以及乙太網控制選擇 體積更小——是功率達2.7 kW 的支架選擇的一半  非常穩定、可靠  專家應用支援