Ovation VHF電源系統
Ovation 全整合供電系統通過採用一種獨特的供電方案,能夠實現更快、更精確的製程過程,如要求嚴格的窄線寬、介電質蝕刻製程。該系統首次在無需外部感測器的情況下,為非 50-ohm 環境供電,反應比傳統電源更快。60-MHz 的設計減小了整個電漿鞘層的電壓勢能,最大限度地減小了離子蝕刻損傷,從而提高了薄膜品質和良品率。
| 優點 |
特性 |
- 拓寬了製程窗口
- 拓展了製程能力
- 改善了電漿特性
- 提高了蝕刻率、選擇性和均勻性
- 降低了持有成本
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- 2760 W、60 MHz(關於更大功率要求,請聯繫工廠)
- 掃描頻率
- 非50 歐姆 測量能力
- 類比、RS-232 以及乙太網控制選擇
- 體積更小——是功率達2.7 kW 的支架選擇的一半
- 非常穩定、可靠
- 專家應用支援
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