匹配網路
Photo of Navigator digital matching network
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Navigator® 數位式阻抗匹配器

多功能 Navigator® 匹配網路的先進技術能在多種負載阻抗下(從15W 至 30kW,頻率至60MHz)進行快速、準確而可靠的匹配。該匹配網路配備了微處理器控制步進馬達電路和用戶可選的數位調諧演算法,使它能提供比傳統類比調諧法更佳的一致性和精確性。這也使得它可以優化半導體、太陽能、FPD 以及 MEMs 製造流程(包括蝕刻、CVD、HDP-CVD、PVD 和腔體清洗應用)的輸送過程功率。一個可選的內部 Z’Scan® 射頻感測器可提供對過程功率和阻抗的即時測量和分析,從而使您能够發現並大大地降低製程變化性。此外,可選的虛擬前面板 (VFP) 軟體使您能够通過一台個人電腦來監視並控制匹配網路。


優點 特性
  • 加強製程控制 
  • 最大限度地減小反射功率 
  • 加速反應時間
  • 有助於提高工具生產量和良品率
     
  • 數位匹配平臺 
  • 多種數位調諧演算法 
  • 即時過程功率和阻抗測量與分析 
  • 整合式儀器 
  • 簡化的設計 
  • 嚴格的測試 


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