下面是 Aera MFM 和 MFC 的一般產品資訊，以及基本診斷與故障排除指南，可以幫助您確定這些產品中問題的根源。

產品說明
校準基準與流量單位
MFM 和 MFC 操作注意事項
操作原理
非校準氣體轉換係數
基本故障排除

產品說明

Advanced Energy Aera 質量流量計 (MFM) 可以利用毛細管熱傳遞原理精確測量各種氣體的品質流量。透過測量這種熱傳遞，MFM 可在選取的流量範圍內產生 0 VDC 到 5 VDC 的線性輸出信號。

MFC 包含一個 MFM 和一個內部氣體控制閥。該控制閥可以調節氣體流量，以匹配設定點信號（來自分壓器或其他信號源）。 

對於 MFC 和 MFM，AE 都提供了必需的附件，包括電源、數位測量表、分壓器、電源軟線和氣體篩檢程序，使您可以輕鬆地構建一套氣體測量系統。

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校準基準與流量單位

對於校準基準，Aera MFM 和 MFC 使用以 0 °C (32 °F) 一個大氣壓為單位的標準溫度和壓力 (STP)。儘管此基準是使用反映了被普遍接受的行業界標準，但其他製造商可能使用不同的 STP 基準。這些產品測得的實際氣體品質流量與 Aera MFM 和 MFC 有所差異。如果混合使用以不同 STP 條件校準的設備，應將這些差異考慮在內。

Aera MFM 和 MFC 的氣體流量以如下單位說明： 

• SCCM － 標準立方厘米每分鐘
• SLM － 標準升每分鐘

根據要求，也可以提供其他校準單位，例如百分比、克每分鐘、以及立方米每小時。 

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MFM 和 MFC 操作注意事項

在操作、安裝及使用 Aera MFM 和 MFC 時，請注意以下事項：

• Aera MFM 和 MFC 的標準位置是配件水平放置，並且電氣接頭向上。但是，Aera MFM 和 MFC 可以安裝在任何位置；在非標準位置安裝時可能會出現微小的零位點偏移距。您可以透過調整產品的零點抵消這種偏移距。
• 為避免振動導致 MFM 和 MFC 的電氣接頭鬆動，請用螺絲將其擰鎖緊。
• 如果 AC 電源線的電雜訊過高，請在電源的輸入端安裝一個雜訊濾波器。
• 在使用活性氣體（例如 SiH4、SiH2Cl2 和 HCl）或更換氣筒之前，請徹底清潔 MFM 或 MFC。
• 如果清潔用的氣體在管道中流過的距離過長，當管道發生洩漏使空氣與生產氣體混合或發生反應時，可能導致污染並隨後腐蝕氣體測量系統。
• 要避免污染 MFM 或 MFC，請在 MFM 或 MFC 的前面鄰接位置使用專門為半導體製造設備設計的氣體篩檢程序。
• 為取得最佳效果，請在 MFC 流量範圍的上部區間使用它。
• Aera MFM 和 MFC通常配備 Viton O 型密封圈。這些 O 型密封圈不能在測量 NH3、SF6、H2S 和 SO2 等氣體時使用。有關使用這些氣體時的合適密封材料，請聯絡 AE 全球客戶支援中心。
  

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操作原理

氣體在流經 MFM 或 MFC 時，會分成兩股氣流。較大的氣流經過旁路元件，較小的氣流與較大的氣流保持一定的比例，經過感測器。MFM 和 MFC 的設計可使這兩股氣流在儀器可測量的流量範圍內保持恒定的比例。

感測器包含一個不銹鋼材質的小毛細管，有兩個熱敏電阻繞在毛細管的外部。電流透過電阻，形成加熱器，加熱感測器毛細管。氣體流動時，熱量從上游電阻傳遞到下游電阻，不平衡程度與氣體的品質流速成比例（與溫度和壓力等因素無關）。電阻形成了橋接電路的一部分，橋接電路可以感應溫度的不平衡。檢測到的不平衡程度經過放大，產生輸出信號。

在 MFC 中，比較器電路感應 MFM 的輸出信號，並將其與設定點進行比較。比較器電路根據比較產生輸出信號，該信號進而驅動控制閥關閉或開啟，直到設定點和 MFM 輸出信號相等。

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非校準氣體轉換係數

所有 Aera MFM 和 MFC 都針對特定氣體和流量範圍進行過校準，氣體種類和測量範圍標記在設備銘牌上。您可以將這些設備用於設備上未標明的其他氣體，只要該氣體不腐蝕 O 型密封圈的材料即可。

由於 MFM 的敏感度因氣體的種類而異，如果您選擇使用未針對該設備進行過校準的氣體，則必須使用修正係數對輸出讀數進行修正。有關具體轉換係數的資訊，請聯絡 AE 全球客戶支援中心。

注意：使用轉換係數的 MFC 的精確度要比針對該氣體專門進行過校準的 MFC 的精確度低。如果校準氣體和所用氣體的轉換係數或密度相差過大，設定控制閥可能會遇到問題。

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基本故障排除

下面的檢查表專門用於幫助您確定問題出在 MFC 內部還是外部。使用該檢查表尋找外部原因。如果該檢查表不能解決問題，您可以參考 MFC 手冊，其中可能包含解決內部 MFC 問題的資訊，您也可以聯絡 AET.Service@aei.com 以獲得額外幫助或答覆/修理資訊： 

1. 當您希望氣體流動時，隔離閥是否能開啟？
   
   • 如果隔離閥不能開啟，請檢查以下事項： 
     
     1. 閥的操作壓力是否足夠（75 psig 到 90 psig）？（多數氣動閥需要的操作壓力都在此範圍內。）
        是否在正確的隔離閥上連接了正確的控制管？
        
     2. 如果是，但隔離閥沒有開啟，請繼續檢查以下問題。 
        
    
2. MFC 的入口的壓力是否足夠（10 psig 到 30 psig）？大流量 MFC 需要至少 30 psig 的壓力。
   
3. MFC 的接頭是否有 +/- 15 VDC 的電壓？如果沒有此電壓，MFC 不會工作。
   
4. MFC 的接頭是否有設定點信號（0.1 VDC 到 5 VDC）？Aera MFC 需要的最低設定點電壓為 0.1 VDC。
   
5. 設定點信號的電壓是否正確？ 
   
6. 如果鄰接的 MFC 正常工作，請將正常工作的 MFC 的電纜換到正在排除故障的 MFC 上試一下。 
   
   • 如果問題解決，說明電纜有故障。
     
   • 如果問題仍然存在，則說明是 MFC 內部的問題。
     
7. 有關特定設備的更多故障排除資訊，請參閱設備附帶的使用者手冊，或聯絡技術支援部門(AET.Service@aei.com)。

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