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液體質量流量控制器
Aera® LX-1200 series liquid MFCs: precise, accurate, reliable liquid flow control that prevents bubble formation and retention problems. Ideal for liquids such as TEOS, TMP, and TMB.
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Aera® LX-1200 系列 LMFC

Aera® LX-1200 系列液體 MFC 控制的是液體的流量，而不是加熱後的蒸汽。獨特的設計能防止競爭性 LMFC 產品常見的氣泡形成和滯留問題。
Aera® LX-1200 MFC 非常適合 TEOS、TMP 和 TMB 等液體。

優點 特性
  • 精確的流量控制
  • 高度可靠
  • 防止氣泡 
  • 獨特的流動路徑和元件解決了氣泡形成和滯留問題


文獻下載

Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
Basic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMs
AE Global Services brochure

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