LFGS 產生器是用於半導體生產和一般電漿處理的多功能微波電源，這種變頻電源採用了一種半橋、D 類型放大器理念，擁有一種氣冷式精簡型的設計，可安裝在19英吋機架上。典型的應用包括濺射、反應式離子蝕刻、電漿沉積、聚合以及表面處理。