LFGS 微波產生器
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LFGS 微波產生器

LFGS 產生器是用於半導體生產和一般電漿處理的多功能微波電源,這種變頻電源採用了一種半橋、D 類型放大器理念,擁有一種氣冷式精簡型的設計,可安裝在19英吋機架上。典型的應用包括濺射、反應式離子蝕刻、電漿沉積、聚合以及表面處理。


優點 功能
  • 可達到目前市場上可獲得的最低反射功率
  • 氣冷式設計
  • 多功能前面板
  • 脈衝模式:0到 10kHz
  • 更完善的操作功能表 
  • 2個類比使用埠 
  • RS-232 介面、乙太網路及 PROFIBUS

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