RF 電源系統
Photo of HFV Variable Frequency Generator RF power system
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HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源

靈活的 HFV® 電源主要用於200和300 mm 晶圓製程、平面顯示器和 DVD 設備的電漿產生器,為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了製程一致性。這種通用電源的特點有數位合成變頻輸出和微處理器控制,輸出功率為5和8 kW。此外,其輸出頻率範圍為1.765-2.165 MHz。韌體上的頻率調諧參數可進行訂製,以確保在各種反應室結構和製程方法下的可重複運行。


優點 特性
  • 提高了 run-to-run 準確性 
  • 具有通用性 
  • 提高了可靠性 
  • 增強了製程靈活性 
  • 降低了持有成本
  • 可訂製的頻率調諧參數 
  • 輸出頻率範圍為1.765-2.165 MHz 
  • 5和8 kW 的輸出功率 
  • 數位合成頻率輸出 
  • 微處理器控制


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