前端管道 PFC 清除
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Litmas® RPS 前端管道 PFC 清除

Litmas® RPS 系統是一種前端管道清除解決方案,可減少半導體製程的全球暖化影響。這個高性能的線性感應式電漿源完全整合了2 MHz 電源和匹配電路。其在 CVD、蝕刻和灰化應用中的阻抗操作範圍很廣。

優點 特性
  • 以很高的破壞效率,有效地消除對環境有害的 PFC 氣體
  • 降低了總消除成本
  • 使前端管道的壓力影響降至最低
  • 最大的功率效率和製程靈活性
  • 在各種化學反應中始終如一的性能和可靠性 
  • 無縫整合,無製程影響

  • 線性感應式電漿源和先進供電系統
  • 緊密的整合設計
  • 用水少、耗電小(無需燃料)
  • 高傳導性、抗氟、圓柱形陶瓷腔室
  • 零 sub-fab 占地面積


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