Advanced Energy
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直流電源
Photo of E'Wave DC power system
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E'Wave® 雙極脈衝直流電系列

Advanced Energy 的 E'Wave® 雙極脈衝直流電源改善了表面均勻性,減少了雙鑲嵌製程流程 (dual-damascene process flow, DDPF) 應用的鍍銅階段之附加消耗,包括在生產環境和銅製程開發中的晶圓電鍍。E'Wave 電源提供多達三個通道,每個都有一個獨立驅動的雙極電源,能夠生成、儲存和運行多達15個由電流控制或由電壓控制的波形。


優點 特性
  • 絕佳的填隙功能
  • 一流的表面均勻性 
  • 降低了附加消耗 
  • 強而有力的監控 
  • 減少無塵室空間要求 
  • 廣泛的配置選擇
  • 通用波形形成 
  • 多達三個獨立控制的通道 
  • 雙極脈衝直流電輸出,0-5kHz 
  • 高電流能力 
  • 四終端控制和晶圓的電壓測量 
  • 主機介面 
  • 緊密型封裝


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