直流電源
Photo of DC Pulsing Product Suite
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直流脈衝產品套件

AE 的脈衝產品系列具有各種功能,能夠滿足您所有的困難和各式各樣的製程要求。這個靈活的直流脈衝附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可變頻率。這個系列的每一項產品在設計上均具有相當的特點,能夠針對反應和導電直流濺射提供經證實的優點。


優點 特性
  • 功能廣泛
  • 靈活的直流脈衝附件系列 
  • 通過允許在更大功率下運行,提高生產量 
  • 減少靶材污染
  • 提高 10-200kW 的功率 
  • 提供 2-100kHz 的固定和可變頻率 
  • 出色的電弧控制——在很多情況下,電弧完全被消除。 
  • 離子能量更高 
  • 更大功率運行 
  • 基板溫度更低 
  • 目標溫度更低 
  • 製程靈活性和寬容度 
  • 系統整合容易 
  • 雙陰極功能(Astral® 產品)


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