Ascent® DMS 先進雙磁控管濺鍍配件,30 - 180 kW
Ascent® DMS 系列前所未有地簡化了電力輸送,並提供對雙磁控管濺鍍的控制,從而能夠實現精確調整薄膜的特性。 Ascent DMS 配件具備可選頻率、調節模式、工作週期以及低儲能和簡化的模組化系統配置,標新立異而成為真正的下一代技術。 它具備成本效益、可擴展性、通用性,並將複雜性減至最小、提高了質量和產出量,從而達到先進的工藝創新。


優點 特性
  • 提升的薄膜價值: 可重複且可自訂的沉積薄膜
  • 降低了擁有成本並提升了生產力
  • 降低了前期成本
  • 提升了功率位準,降低了電弧損害
  • 易於調節、整合及支援
  • 模組化與可擴展性(可配置的 30、40 及 60 kW 單元,最多達 180 kW)
  • 可選頻率(500 Hz - 50 kHz)
  • 功率、電流或電壓調節
  • 可調整工作週期 - 獨立調節每個磁控管的功率比率
  • 單極性與雙極性運作
  • 最低電弧能量(可能來自任何工業雙磁控管濺鍍供應)
  • CEX(相位同步)
  • 符合歐盟 RoHS 標準