RF 電源系統
Photo of Apex RF power system
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Apex® RF電源系統

通用 Apex® 系列射頻電源和供電系統採用複雜的射頻轉換技術,在適合於反應室安裝的模組化設計中提供增大的產品和製程可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或資料存儲製造以電漿為基礎的薄膜製程中表現優異。


優點 特性
  • 更高的功率密度 
  • 更好的製程靈活性 
  • 輸出量提高 
  • 持有成本降低 
  • 簡化製程工具整合 
  • 靈活的通信 
  • 簡化的設計 
  • 板上反應室安裝、板上框架安裝、支架安裝和鞋盒式 (shoebox) 選擇 
  • 寬頻控制回路和可選的高重複率脈衝 
  • 業界領先的電弧管理
  • 符合監管要求 


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