憑藉業界領先的流量控制技術，Aera® PI-980® 系列非壓敏型 MFC（質流控制器）可預測新一代半導體製造制程不斷成長的需求，這些制程包括蝕刻、化學汽相沉積、物理汽相沉積和擴散。與先前的技術或競爭對手產品相比，這一創新的技術平臺提供了更迅速的回應、更高的氣體流量穩定性、更高的精確度以及一流的即時制程控制。較高的流量穩定性提供了更好的腔室到腔室制程可重複性，從而提高了生產產量。

PI-980 MFC 的新一代設計將傳統的熱流量架構與一個壓力感測器、溫度感測器以及 NeuralStep® 控制技術進行了整合，從而創造了一個單一而精簡的輸送包，省去了以往一直需要使用的眾多昂貴的氣體面板元件。多氣體、多範圍功能大幅降低了支持性物品的要求，從而進一步提高了成本效率。除了整合式診斷，新一代 MFC 技術還被整合進了我們得到現場驗證的 D980 系列產品平臺，以延長系統正常執行時間，並使故障的發現和修理變得快速而簡易。

文獻下載

更多資訊