Advanced Energy
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集熱式MFC
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Aera® FC-D770 工業用數位品質流量控制器

Aera® FC-D770 工業用數位流量控制器滿足了工業製造中獨特的要求,同時帶來了傑出的性能和價值。它的設計整合了工業環境所必需的輸入/輸出選項。這些選項是帶有多氣體多量程 (MGMR) 功能以及成本低的彈性體密封件。憑藉出色的速度、精確性和可重複性,Aera FC-D770 品質流量控制器提高了產量和薄膜品質。現場可程式設計的 MGMR 選擇也同時實現了高度的便利性和靈活性。



優點 特性
  • 出眾的薄膜和蝕刻品質
  • 更大的產量
  • 最大限度的便利性和靈活性
  • 世界級的服務和支援
  • 傑出的速度、精確性、穩定性和可重複性
  • 卓越的可靠性
  • 經濟型彈性體密封件設計
  • 多氣體多量程選項
  • 易於進行現場程式設計
  • 具有重新校準功能的無限制氣體選擇
  • 迅速整合
  • RS-485、RS-232、電流迴路以及模擬控制
  • 多重警報和診斷功能


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