AERA FC-7800 系列 MFCs

集熱式MFC

Aera^® FC-7800 系列 MFC

經受了要求最苛刻的製程考驗Advanced Energy的 Aera® FC-7800 系列提供精確的流量控制以及絕佳的電阻性能和超高防漏的金屬密封，適合大部分氣體控制應用。

標準或 Aera 獨有的電子連接器選擇等提高了方便性的功能，能夠快速、輕鬆地替換現有的質量流量控制器(MFCs)。

優點	特性
快速回應——設置點之間的流量沉澱時間不到2秒無與倫比的可靠性——一年零漂移不到滿標度流量的0.5% 易於整合——標準連接器和尺寸出色的效果——優質薄膜的特性	防腐設計金屬密封 VCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性連接全金屬密封設計滿標度流量範圍為10 sccm - 200 slm 常關或常開的電磁控制閥洩漏率為1 x 10-10 atm-cc/sec of He


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