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集熱式MFC
Aera® FC-7700系列MFC的照片
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Aera® FC-7700 系列 MFC

作為針對各種應用的業界公認標準，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供精確的流量控制，同時具備彈性密封的經濟優點。對於半導體、平面顯示器、資料儲存、工業真空、及工業塗層的製程及裝備工程師，這一系列提供針對非腐蝕性氣體應用（包括 CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其他鍍膜製程）的高度可靠性和出色的性能。


優點 特性
  • 快速回應——設置點之間的流量沉澱時間不到2秒
  • 無與倫比的可靠性——一年零漂移不到滿標度流量的0.5%
  • 易於整合——標準連接器和尺寸
  • 出色的效果——優質薄膜特性
  • 彈性密封
  • VCR® , VCO®, 及 Swagelok® 共容的連接
  • 滿標度流量範圍為10 sccm - 200 slm
  • 常關或常開的電磁控制閥
  • 最大的淨化模式流量——校準後最多100次
  • 洩漏率為1x10-6 atm-cc/sec of He

文獻下載

Aera® FC-7700 Series Thermal Mass Flow Controller brochure
Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
Series FC-77X / 77XX, Series FC-78X / 78XX, and Series FC-79X Mass Flow Controllers user manual
Basic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMs
AE Global Services brochure

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