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廢氣壓力控制器
Aera® EPC 廢氣壓力控制器的圖片
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Aera® EPC100 和 EPC100-AW 廢氣壓力控制器

Aera® EPC 廢氣壓力控制器在最惡劣的製造環境下依然能保持卓越的穩定性。N2 先導閥控制和擁有專利的平衡卷軸技術提供了傳統技術所無法達到的高水準回應性、精確度和穩定性。EPC100-AW 的絕對壓力控制方法甚至能補償因天氣或海拔差異所造成的大氣壓力變化。EPC 産品系列是專爲控制腔室廢氣而設計，它能够穩定製程環境以形成非常均勻的氧化膜層。快速的回應、廣泛的氣壓控制範圍、卓越的穩定性和資源消耗的减少等特性共同提高了該産品的應用收益，並降低其擁有成本。


優點 特性
  • 出色的回應性和穩定性
  • 非常均勻的氧化層
  • 更好的製程重複性
  • 卓越的耐用性和可靠性
  • 持有成本降低
  • 安裝簡便
  • 世界級的服務和支援
  • 擁有專利的平衡線管技術
  • 廣泛的壓力控制範圍
  • 功耗和 N2 消耗減少
  • 緊湊的單封裝設計
  • 持續的 N2 淨化，以進行自潔
  • 針對濕法製程的大型排放口
  • 差壓監控功能[1]
  • 符合《電氣、電子設備中限制使用某些有害物質指令（RoHS）》


[1] 只有 EPC100-AW 和 EPC100R-AW 具備

Downloads

Aera® EPC Exhaust Pressure Controllers brochure     繁體中文
Aera® EPC100-AW Wins IC Industry Award, October 2006 magazine reprint    
繁體中文

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