Aera^® AS-71 熱蒸發器系統具有工業領先 可靠性和流動穩定的特性，因而顯著提高了膜的
均勻度並明顯延長了系統的正常運作時間。與需要恒定的 再填充壓力並且要經常維護的設備不同，AS-71C 蒸發器 僅需極低的保養即可穩定地提供汽化 TEOS、SiCI4、HCD 以及其他前體物質，並且不需要經常監控 再填充壓力。該蒸發器理想的流量為 300 sccm， 最高流量可達 600 sccm。

Aera AS-71C 蒸發器整合了領先的熱處理室和 MFC 技術，其傑出的設計和製造品質正符合您 選擇 Aera 產品時所期望的。這是一個 具有高可靠度而且維護要求極低的系統；可以延長正常運作時間， 提高製程可重複性以及膜的均勻度，非常適合半導體、FPD 以及其他需要很高的蒸氣輸送穩定性的進階應用。

 

優點	特性
實現高度一致且可重複的膜特性 促進製程創新 延長製程正常運作時間並提高產量 降低材料成本和製程的複雜性 提高易用性	工業領先的蒸氣流穩定性 熱蒸發方法 — 固有的穩定性和復原 效能，維護要求極低 極高的可靠性 —超過 20 年可靠的現場 運作 整合高溫 Aera MFC 可選控制面板和自動再填充系統，提高了 易用性 電解拋光的超淨氣體接觸表面