Aera^® AS-92 集熱式蒸發器系統具有業界領先的可靠性和流動穩定性——從而大幅提高了薄膜的均勻性，延長了系統正常操作時間。與需要不斷補充壓力和頻繁維護的裝置不同，AS-92 蒸發器可以最少的維護，不間斷地提供汽化的 TEOS、SiCl4、HMDS 以及其他前驅物質，而且無需不時的監控補充壓力情況。